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在线薄膜杂质缺陷检测系统在薄膜生产过程中的应用

发布时间: 2021-05-06  点击次数: 111次

    

检测系统包括计算机、照相系统、图像处理系统及缺陷检测分级软件等

硬件系统:

高速线扫描摄像机

专业线光源

像素加速器及记忆棒

软件系统:

操作系统

薄膜图像处理缺陷分级软件软件

主要技术参数:

 

在线扫描照相机 

功能部件: CCD在线扫描照相机

传感器:4096像素,传感器尺寸 40.96mm×10μm

像素尺寸:10µm×10μm

动态速率范围:最大1200:1

像素频率:最大160MHz

线频率:36KHz

尼康镜头

检测宽度120 mm

分辨率25μm

线性扫描速度:25m/min( 约400mm/s)

过程速度约32000 lines per 4096像素/s

操作温度10℃~50 ℃

照明系统

 

LED 3线(超高亮度/高聚光)亮度可调,灯长250mm

薄膜检测系统可以自动调节曝光时间。测试系统可根据薄

膜的透明度自动调节灯的亮度。同时照明灯的亮度也可以

通过软件手动设置。

 

测试范围           

±2,5 mm (漫反射: ±2,0 mm)

光源

可见光半导体激光(波长: 650 nm, 1 mW max., Class 2)

光束形状

线形光束

光束直径    

2.000 x 35μm

线性度

测量刻度的±1 %

分辨率

0.4 μm

温度特性

0.02 % 测量刻度/℃

取样周期

最少110μs,标准:500μs

 

测试角               

45º

标准

ASTM D 2457

雾度测试范围   

0~2000GU(GU=Gloss units)

重复性

0~199.9GU : 0.1 GU,200~2000 GU:0.1%

再现性

0~199.9GU : 0.5GU,200~2000 GU:0.4%

测试传感器

适用于V形

光源

白光, LED

 

 

 

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